半導体製造装置用汎用制御システム ※SAM = Semiconductor equipment AutoMation control system |
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半導体製造装置に代表される機械制御では、画像処理装置やモータ制御装置、汎用I/O 制御、それにマンマシンインタフェース等、多様で高速な機能を必要とします。 半導体製造装置用汎用システム「SAM」は、これらの機能をハードリアルタイムカーネルで動作する１台の工業用Windows-PCで実現するシステムです。 従来方式に比べ、低コスト、高性能です。 |
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システム構成図と構成部品 |
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制御装置のＩ／Ｆ概要 |
主な特徴・リアルタイムOSを搭載した工業用Windows-PC ・制御装置は、各処理部をスレッド単位で直接制御 ・各処理部との高速I/Fが可能（共有メモリ） ・従来のスタンドアローンシステムの組み合わせと比 べ、工期の縮小及びトータルコストの低減 ・様々な組み合わせが可能 |
各部の仕様 |
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画像処理部 |
仕様 ・キャプチャーカード Matrox社製 METEOR2-MC/4(PCI) ・画像処理ツール ㈱住友金属システムソリューションズ社製 ロバストファインダー ・画像処理カメラ キャプチャーカード対応カメラ |
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特徴 ・アナログ可変フレームスキャンを3チャンネル ・モノクロあるいはRGBのインターレース方式およびプログレッシブスキャン方式のサポート ・サンプリングは最高30MHz、可変ゲインのアンプ ・10MHzのローバスフィルタ(バイパス可能) ・アジャスト可能なA/D変換リファレンス ・3つの256×8bitのプログラマブルLUT ・独立したピクセルクロック、水平同期、垂直同期、(露光用)タイマ、および補助入出力 ・トリガ入力による同期入力および非同期入力 ・RGB2本またはモノクロ最大6本の映像ソースの接続および切替 |
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モータ制御部 |
仕様 ・Ｉ／Ｆボード アンペール社製 Macro5612 ・モータ DCサーボ／パルスモータ等 |
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特徴 ・PCIバス準拠の４軸モータ・コントロール・モジュール ・２Mpps（サーボモータ3000rpm，分解能1/40000）まで可能 ・サーボモータドライバ／ステッピングモータドライバの制御可能 ・サーボモータ接続のためドライバー側の差動出力を前提としたエンコーダ入力（90°位相差の エンコーダパルス）と原点位置の入力が可能 |
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制御装置 |
仕様 ・ハード（PC） Windows2000動作可能なAT互換機 CPU Pentium®550MHz 以上 メモリ128Mbyte 以上 HDD 64Mbyte以上の空きスペース（開発用は100Mbyte以上） ・ソフト（OS） TenAsys®社製 INtime® V2.11 Microsoft社製 Windows NT4.0、Embedded、2000、XPに対応 ・汎用I/O EC-Net(伝送レート 最大5Mbps ノード数 最大31台) |
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特徴 ・信頼性の高いリアルタイムOSINtime®搭載により豊富なリアルタイムスケジューリング機能 を提供（256プライオリティー、マルチスレッド機能メールボックス、セマフォー、リージ ョン、共有メモリ、IPCメカニズム等） ・ハードウェア－へダイレクトなI/O&メモリーマップアクセス等 |
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ユーザーI/F部 |
ハード仕様 ・TFTまたはCRT（Windows対応XGA） ・タッチパネル（マウス互換） |
| お問い合わせ | ||
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画像処理部 (株)住友金属システムソリューションズ 東京都台東区池之端1-2-18 TEL:03-5815-7248 FAX:03-5815-7259 |
モーター制御部・EC-NET (株)アンペール 東京都新宿区西新宿7-5-3 斎藤ビル TEL:03-5330-6801 FAX:03-5330-7207 |
制御装置他 (株)マイクロネット 茨城県神栖市堀割13-8-11 TEL:0299-90-1733 FAX:0299-92-8557  |
※TenAsys®, INtime®, eVM® and iRMX® are registered trademarks in USA of
the TenAsys Corporation.