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半導体製造装置用汎用制御システム

Semiconductor equipment AutoMation control system



「SAM」は、従来のシステムが装置毎に行っていた機能を、ハードリアルタイムカーネルで動作する工業用Windows®PC１台で実現するシステムです。従来方式に比べ、低コスト、高性能です。


主な特徴
リアルタイムOSを搭載した工業用Windows®PC
制御部は、各処理部をスレッド単位で直接制御
各処理部との高速I/F（共有メモリ）
従来のスタンドアローンシステムの組合せと比べ、工期の短縮及びトータルコストの低減
様々な組合せが可能


システム構成

システム構成図

ソフトウェア
①
 ユーザーI/F部から汎用制御部に対して処理の要求・応答（情報)等
②

汎用制御部から画像処理部に対して画像処理要求と処理結果の応答
③
汎用制御部からモータ制御部に対して画像処理結果を元にしたモータ出力要求
従来システム


各部の名称

画像処理部


METEOR2

仕様

・キャプチャーカード

Matrox社製 METEOR2-MC/4(PCI)
・画像処理ツール キヤノンシステムソリューションズ㈱
(現・キヤノンITソリューションズ㈱)社製 ロバストファインダー
・画像処理カメラ キャプチャーカード対応カメラ
特徴 ・アナログ可変フレームスキャンを3チャンネル
・モノクロあるいはRGBのインターレース方式およびプログレッシブスキャン方式のサポート
・サンプリングは最高30MHz、可変ゲインのアンプ
・10MHzのローバスフィルタ(バイパス可能)
・アジャスト可能なA/D変換リファレンス
・3つの256×8bitのプログラマブルLUT
・独立したピクセルクロック、水平同期、垂直同期、(露光用)タイマ、および補助入出力
・トリガ入力による同期入力および非同期入力
・RGB2本またはモノクロ最大6本の映像ソースの接続および切替

モータ制御部

 仕様 ・I/Fボード アンペール社製 Macro5612
・モータ DCサーボ/パルスモータ等
特徴 ・PCIバス準拠の４軸モータ・コントロールモジュール
・２Mpps（サーボモータ3000rpm、分解能1/40000）まで可能
・サーボモータドライバ/ステッピングモータドライバの制御可能
・サーボモータ接続のためドライバー側の差動出力を前提としたエンコーダ入力 (90°位相差のエンコーダパルス)と原点位置の入力が可能
リモートDI/O
EC-NET 		仕様 ・PCIマスターボード

2.5Mbps　2回線、汎用割込入力 4ch
最大ノード/回線（最大60ノード/ボード、最大1920点/ボード）

・I/Oノード (デジタル入力16点 + デジタル出力16点)/ノード
各点 フォトカプラー絶縁
特徴 ・産業用リモートDI/O
・ホストパソコンに実装するPCIカード1枚あたり最大で1920点入出力が可能
・エンド・ツー・エンドで最高0.5mSの応答速度（3ノード構成の場合）
・割込み処理用の専用入力

制御装置

INtimeと制御PC

 仕様 ・ハード（PC） Windows®XP,XPe動作可能なAT互換機
CPU Pentium®550MHz以上 メモリ128Mbyte以上
HDD 64Mbyte以上の空きスペース（開発用は100Mbyte以上）
・ソフト（OS） TenAsys®社製 INtime® V2.14
Microsoft社製 Windows® 2000,XP,XPeに対応
・汎用I/O EC-NET(伝送レート 最大5Mbps、ノード数 最大31台)
特徴 ・信頼性の高いリアルタイムOS INtime®搭載により豊富なリアルタイムスケジューリング機能を提供
（256プライオリティ、マルチスレッド機能メールボックス、セマフォ、リージョン、共有メモリ、IPCメカニズム等）
・ハードウェアへダイレクトなI/O & メモリーマップアクセス等
ユーザI/F部 ハード仕様 ・TFTまたはCRT（Windows®対応XGA）
・タッチパネル（マウス互換）


本文中のシステム名及び製品名は各開発メーカーの商標または登録商標です。カタログ内の仕様等は予告なしに変更する事があります。

画像処理部

モータ制御部・EC-NET

制御装置他

キヤノンITソリューションズ株式会社
東京都港区港南2-16-6
キヤノンSタワー
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FAX：
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E-mail:		 アンペール様ロゴ
株式会社アンペール
東京都新宿区西新宿7-5-3
斎藤ビル
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FAX：03-5330-7027
URL：https://www.ampere.co.jp/
E-mail:sales1@ampere.co.jp		 マイクロネット　ロゴ
株式会社マイクロネット
茨城県神栖市堀割3-8-11
TEL：0299-90-1733
FAX：0299-92-8557
URL：https://www.mnc.co.jp/

　

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